Исследование субфторидного процесса получения высокочистого кремния
Водопьянов, А. Г., Кожевников Г. Н., Кузьмин, В. Г.
Исследование субфторидного процесса получения высокочистого кремния, [Текст]
табл.
Журнал прикладной химии, 2012, Т. 85, № 1. - С. 14-18