Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Исследование субфторидного процесса получения высокочистого кремния
Поиск

Исследование субфторидного процесса получения высокочистого кремния

Авторы: Водопьянов, А. Г. Кожевников Г. Н. Кузьмин, В. Г.
Подробная информация
Индекс УДК 661.686
Исследование субфторидного процесса получения высокочистого кремния
Текст
Журнал прикладной химии
2012
Т. 85, № 1. - С. 14-18