Формирование нанокристаллов кремния в многослойных нанопериодических структурах a-SiO[x]/диэлектрик по результатам синхротронных исследований
Турищев, С. Ю., Терехов, В. А., Коюда, Д. А., Ершов, А. В., Машин, А. И., Паринова, Е. В., Нестеров, Д. Н., Грачев, Д. А., Карабанова, И. А., Домашевская, Э. П.
// Физика и техника полупроводников .-
2017 .-
Т. 51, вып. 3. - С. 363-366 .-
Турищев_формирование
