Суспензии на основе наноразмерных порошков SiO[2] для стадии предварительной полировки пластин монокристаллического кремния
Косенок, А. Я., Гайшун, В. Е., Тюленкова, О. И., Громов, В. И., Герасименя, Т. А., Денисман, В. Г., Матюшонок, О. А., Судник, Л. В.
Суспензии на основе наноразмерных порошков SiO[2] для стадии предварительной полировки пластин монокристаллического кремния, [Текст]
ил., табл.
Материалы, технологии, инструменты, 2012, Т. 17, № 3. - С. 49-53
