Исследование фазового состава наноразмерных структур, полученных локальным анодным окислением пленок титана
Авилов, В. И., Коноплёв, Б. Г., Агеев, O. А., Коноплев, Б. Г., Смирнов, В. А., Солодовник, М. С., Цуканова, О. Г.
Исследование фазового состава наноразмерных структур, полученных локальным анодным окислением пленок титана, [Электронный ресурс]
ил., табл.
// Физика и техника полупроводников .-
2016 .-
Т. 50, вып. 5. - С. 549-552 .-
Авилов_исследование
