Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния
Файнер, Н. И., Плеханов, А. Г., Румянцев, Ю. М., Юшина, И. В., Шаяпов, В. Р., Кичай, В. Н.
Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния, [Текст], Ч.II, Физико-химические свойства
ил.
Физика и химия стекла, 2014, Т. 40, № 6. - С. 837-845