Химическое осаждение из газовой фазы иридия на карбиды гафния и тантала
Лозанов, В. В., Ильин, И. Ю., Морозова, Н. Б., Трубин, С. В., Бакланова, Н. И.
Химическое осаждение из газовой фазы иридия на карбиды гафния и тантала, В. В. Лозанов, И. Ю. Ильин, Н. Б. Морозова [и др.]
рис.
// Журнал неорганической химии .-
2020 .-
Т. 65, № 11. - С. 1570-1578 .-