| Индекс УДК |
544 543.4/.5 |
|
Химическое осаждение из газовой фазы иридия на карбиды гафния и тантала В. В. Лозанов, И. Ю. Ильин, Н. Б. Морозова [и др.] |
|
| Аннотация | Методом химического осаждения из газовой фазы получены нанокристаллические иридиевые покрытия на подложках из карбидов гафния и тантала при температуре 600°С. |
| Название источника | Журнал неорганической химии |
| Место и дата издания | 2020 |
| Прочая информация | Т. 65, № 11. - С. 1570-1578 |
