Структура термоэлектрических пленок высшего силицида марганца на кремнии по данными электронной микроскопии
Орехов, А. С., Камилов, Т. С., Ибрагимова, Б. В., Ивакин, Г. И., Клечковская, В. В.
Структура термоэлектрических пленок высшего силицида марганца на кремнии по данными электронной микроскопии, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2017, Т. 51, вып. 6. - С. 740-743
Орехов_структура
