Профилирование компонент подвижности вблизи гетерограниц тонких пленок кремния
Зайцева, Э. Г., Наумова, О. В., Фомин, Б. И.
Профилирование компонент подвижности вблизи гетерограниц тонких пленок кремния, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2020, Т. 54, вып. 2. - С. 124-128
Зайцева_профилирование