Измерение линейных размеров микро- и наноэлементов структуры с формой, близкой к цилиндрической, методом дефокусировки электронного зонда РЭМ
Горенберг, А. Я., Коростылев, Е. В., Заблоцкий, А. В.
Измерение линейных размеров микро- и наноэлементов структуры с формой, близкой к цилиндрической, методом дефокусировки электронного зонда РЭМ, [Текст]
ил.
Энциклопедия инженера-химика, 2012, № 6. - С. 4-6
