Особенности роста и структурно-спектроскопические исследования нанопрофилированных пленок AlN, выращенных на разориентированных подложках GaAs
Середин, П. В., Голощапов, Д. А., Леньшин, А. С., Лукин, А. Н., Федюкин, А. В., Арсентьев, И. Н., Бондарев, А. Д., Лубянский, Я. В., Тарасов, И. С.
Особенности роста и структурно-спектроскопические исследования нанопрофилированных пленок AlN, выращенных на разориентированных подложках GaAs, [Электронный ресурс]
ил., табл.
// Физика и техника полупроводников .-
2016 .-
Т. 50, вып. 9. - С. 1283-1294 .-
Середин_особенности
