Оптические свойства пленок нитрида кремния, полученных плазмохимическим осаждением из газовой фазы
Власукова, О. А., Комаров, Ф. Ф., Пархоменко, И. Н., Мильчанин, О. В., Леонтьев, А. В., Мудрый, А. В., Тогамбаева, А. К.
Оптические свойства пленок нитрида кремния, полученных плазмохимическим осаждением из газовой фазы, [Текст]
Журнал прикладной спектроскопии, 2013, Т. 80, № 1. - С. 92-96
