Электроосаждение тонких слоев меди из комплексного электролита на компоненты микроэлектронных структур
Тураев, Д. Ю., Гвоздев, В. А., Бундина, В. А., Валеев, А. С., Кругликов, С. С.
Электроосаждение тонких слоев меди из комплексного электролита на компоненты микроэлектронных структур, [Текст]
ил.
Гальванотехника и обработка поверхности, 2013, Т. 21, № 3. - С. 50-54
