Параметры и состав плазмы CF[4]+O[2]+Ar и CHF[3]+O[2]+Ar в процессах реактивно-ионного травления
Ефремов, А. М., Kwang-Ho Kwon, Соболев, А. М., Бетелин, В. Б.
Параметры и состав плазмы CF[4]+O[2]+Ar и CHF[3]+O[2]+Ar в процессах реактивно-ионного травления, А. М. Ефремов, А. М. Соболев, В. Б. Бетелин, Kwang-Ho Kwon
5 рис., 2 табл. .-
// Известия вузов. Химия и химическая технология .-
2019 .-
Т. 62, вып. 12. - С. 108-118 .-