Разработка процесса сквозного, скоростного плазмохимического травления монокристаллического кварца в газовой смеси SF[6]/O[2]
Осипов, А. А., Александров, С. Е., Березенко, В. И.
Разработка процесса сквозного, скоростного плазмохимического травления монокристаллического кварца в газовой смеси SF[6]/O[2], [[Текст]], А. А. Осипов, С. Е. Александров, В. И. Березенко
// Журнал прикладной химии .-
2018 .-
Т. 91, вып. 8. - С. 1104-1110 .-
