Численное моделирование высокоэнергетической ионной имплантации с использованием уравнений Фоккера-Планка
Белько, В. И., Лемешевский, С. В., Чуйко, М. М.
Численное моделирование высокоэнергетической ионной имплантации с использованием уравнений Фоккера-Планка, В. И. Белько, С. В. Лемешевский, М. М. Чуйко
рис.
2017 .-
№ 2. - С. 28-36 .-
// Журнал Белорусского государственного университета. Математика. Информатика .-