| Индекс УДК | 519.6 |
|
Численное моделирование высокоэнергетической ионной имплантации с использованием уравнений Фоккера-Планка В. И. Белько, С. В. Лемешевский, М. М. Чуйко |
|
| Аннотация | Рассмотрена модель переноса ионов высоких энергий в твердом теле, основанная на численном решении уравнения Фоккера-Планка. |
| Ключевые слова |
численное моделирование высокоэнергетическая ионная имплантация Фоккера-Планка уравнение уравнение Фоккера-Планка разностные схемы устойчивость ионная имплантация |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | № 2. - С. 28-36 |
| Название источника | Журнал Белорусского государственного университета. Математика. Информатика |
