Четырехсенсорная газовая микросистема на подложке из пористого анодного оксида алюминия: конструкция, технология, моделирование
Реутская, О. Г., Белогуров, Е. А., Таратын, И. А., Хатько, В. В.
Четырехсенсорная газовая микросистема на подложке из пористого анодного оксида алюминия: конструкция, технология, моделирование, [Текст]
ил.
Приборы и методы измерений, 2013, № 2. - С. 47-51