Поиск

Четырехсенсорная газовая микросистема на подложке из пористого анодного оксида алюминия: конструкция, технология, моделирование

Авторы: Реутская, О. Г. Белогуров, Е. А. Таратын, И. А. Хатько, В. В.
Подробная информация
Индекс УДК 51-73
Четырехсенсорная газовая микросистема на подложке из пористого анодного оксида алюминия: конструкция, технология, моделирование
Текст
Приборы и методы измерений
2013
№ 2. - С. 47-51