Изучение профиля распределения железа, имплантированного в кремний
Кожемяко, А. В., Балакшин, Ю. В., Шемухин, А. А., Черныш, В. С.
Изучение профиля распределения железа, имплантированного в кремний, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2017, Т. 51, вып. 6. - С. 778-782
Кожемяко_изучение
