Импульсное магнетронное распыление (PMS-pulsed magnetron sputtering) керамических СВС-мишений как перспективная технология получения многокомпонентных покрытий
Кирюханцев-Корнеев, Ф. В.
Импульсное магнетронное распыление (PMS-pulsed magnetron sputtering) керамических СВС-мишений как перспективная технология получения многокомпонентных покрытий, Ф. В. Кирюханцев-Корнеев
// Физикохимия поверхности и защита материалов .-
2020 .-
Т. 56, № 2. - С. 165-180 .-
