| Индекс УДК | 621.373/.374 |
|
Импульсное магнетронное распыление (PMS-pulsed magnetron sputtering) керамических СВС-мишений как перспективная технология получения многокомпонентных покрытий Ф. В. Кирюханцев-Корнеев |
|
| Аннотация | Проведено исследование процессов импульсного магнетронного распыления (PMS-pulsed magnetron sputtering) многокомпонентных керамических мишеней при нанесении функциональных покрытий различного назначения. Установлены закономерности изменения структурных характеристик, механических и трибологических свойств при увеличении частоты электропитания магнетрона. Обобщая результаты, полученные с использованием технологии PMS при нанесении покрытий из многокомпонентных СВС-катодов, можно сделать следующие выводы: а) Структура покрытий. Импульсное распыление приводит к созданию более плотной и в то же время более дефектной структуры с высоким уровнем внутренних напряжений и шероховатости. Влияние импульсного режима на размер зерен зависит от типа распыления и конфигурации магнитных полей. |
| Название источника | Физикохимия поверхности и защита материалов |
| Место и дата издания | 2020 |
| Прочая информация | Т. 56, № 2. - С. 165-180 |
