Технология изготовления СВЧ пьезоэлектрических преобразователей на основе пленки AlN, нанесенной на подложку из синтетического монокристалла алмаза
Сорокин, Б. П., Квашнин, Г. М., Бормашов, В. С., Волков, А. П., Теличко, А. В., Гордеев, Г. И., Голованов, А. В.
Технология изготовления СВЧ пьезоэлектрических преобразователей на основе пленки AlN, нанесенной на подложку из синтетического монокристалла алмаза, [Текст]
ил., табл.
Химия и химическая технология. Изв. вузов, 2014, Т. 57, № 5. - С. 17-21
