Реактивное ионное травление поверхности синтетического монокристалла алмаза в плазме
Бормашов, В. С., Волков, А. П., Голованов, А. В., Тарелкин, С. А., Буга, С. Г., Бланк, В. Д.
Реактивное ионное травление поверхности синтетического монокристалла алмаза в плазме, [Текст]
ил.
Химия и химическая технология. Изв. вузов, 2012, Т. 55, № 6. - С. 71-73
