Поиск

Реактивное ионное травление поверхности синтетического монокристалла алмаза в плазме

Авторы: Бормашов, В. С. Волков, А. П. Голованов, А. В. Тарелкин, С. А. Буга, С. Г. Бланк, В. Д.
Подробная информация
Индекс УДК 533.924
Реактивное ионное травление поверхности синтетического монокристалла алмаза в плазме
Текст
Химия и химическая технология. Изв. вузов
2012
Т. 55, № 6. - С. 71-73