Каталог библиотеки БГТУ

1. Базы данных
2. Статьи
3. Заглавие
4. Разработка процесса сквозного, скоростного плазмохимического травления монокристаллического кварца в газовой смеси SF[6]/O[2]

Статьи. Заглавие - Разработка процесса сквозного, скоростного плазмохимического травления монокристаллического кварца в газовой смеси SF[6]/O[2]

• Разработка процесса сквозного, скоростного плазмохимического травления монокристаллического кварца в газовой смеси SF[6]/O[2]
  Осипов, А. А., Александров, С. Е., Березенко, В. И.
  
  Разработка процесса сквозного, скоростного плазмохимического травления монокристаллического кварца в газовой смеси SF[6]/O[2], [[Текст]], А. А. Осипов, С. Е. Александров, В. И. Березенко // Журнал прикладной химии .- 2018 .- Т. 91, вып. 8. - С. 1104-1110 .-