Распределение примесей в процессе выращивания мультикристаллического кремния
Непомнящих, А. И., Пресняков, Р. В.
Распределение примесей в процессе выращивания мультикристаллического кремния, [[Текст]], А. И. Непомнящих, Р. В. Пресняков
2 рис., 3 табл.
// Неорганические материалы .-
2018 .-
Т. 54, № 4. - С. 335-339 .-
