Учет сложной структуры поверхности при эллипсометрических исследованиях влияния режимов магнетронного распыления на рост и оптические свойства пленок In[2]O[3]
Тихий, А. А., Николаенко, Ю. М., Грицких, В. А., Свиридова, Е. А., Мурга, В. В., Жихарева, Ю. И., Жихарев, И. В.
Учет сложной структуры поверхности при эллипсометрических исследованиях влияния режимов магнетронного распыления на рост и оптические свойства пленок In[2]O[3], [[Текст]], А. А. Тихий [и др.]
// Журнал прикладной спектроскопии .-
2018 .-
Т. 85, № 1. - С. 161-167 .-
