Оптические свойства пиролитического нитрида кремния SiN[x], обогащённого кремнием
Перевалов, Т. В., Спесивцев, Е. В., Рыхлицкий, С. В., Бобовников, П. Г., Красников, Г. Я., Гриценко, В. А.
Оптические свойства пиролитического нитрида кремния SiN[x], обогащённого кремнием, Т. В. Перевалов, Е. В. Спесивцев, С. В. Рыхлицкий [и др.]
1 файл (1, 73 Мб) .-
Загл. с титул. экрана .-
// Оптика и спектроскопия .-
2022 .-
Т. 130, № 11. - С. 1718-1722 .-