Получение и исследование пленок вольфрама, титана и их оксидов
Томаев, В. В., Сохович, Е. В., Мякин, С. В., Полищук, В. А., Семёнова, А. А.
Получение и исследование пленок вольфрама, титана и их оксидов, В. В. Томаев, Е. В. Сохович, С. В. Мякин [и др.]
ил.
// Физика и химия стекла .-
2022 .-
Т. 48, № 1. - С. 85-97 .-