| Индекс УДК | 661.878'022 |
|
Получение и исследование пленок вольфрама, титана и их оксидов В. В. Томаев, Е. В. Сохович, С. В. Мякин [и др.] |
|
| Аннотация | Исходные поликристаллические пленки вольфрама и титана, поверхность которых имеет преимущественно ультрананодисперсную морфологию и толщину 50-100 нм, получены методом магнетронного напыления на проводящие пленки FTO, которые соответственно были нанесены на подложки из стекла. На следующем этапе полученные пленки вольфрама и титана термически окислены в программируемой муфельной печи в атмосфере воздуха. Изучены морфология, структурные и оптические свойства как исходных пленок вольфрама и титана, так и их оксидов. Представлены некоторые предварительные результаты и обсуждаются перспективы использования полученных пленок WO[3] и TiO[2] в качестве электрохромных, фотохромных и сенсорных материалов. |
| Название источника | Физика и химия стекла |
| Место и дата издания | 2022 |
| Прочая информация | Т. 48, № 1. - С. 85-97 |
