Прецизионное химическое травление эпитаксиальных слоев GaP(NAs) для формирования монолитных оптоэлектронных приборов
Кудряшов, Д. А., Гудовских, А. С., Баранов, А. И.
Прецизионное химическое травление эпитаксиальных слоев GaP(NAs) для формирования монолитных оптоэлектронных приборов, [Электронный ресурс]
цв. ил., табл.
Физика и техника полупроводников, 2018, Т. 52, вып. 13. - С. 1668-1674
Кудряшов_прецизионное
