Формирование графеноподобного слоя SiN на поверхности (111)Si
Мансуров, В. Г. , Журавлёв, К. С., Галицын, Ю. Г., Малин, Т. В., Тийс, С. А., Федосенко, Е. В., Кожухов, А. С., Журавлев, К. С., Cora, Ildiko, Pecz, Bela
Формирование графеноподобного слоя SiN на поверхности (111)Si, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2018, Т. 52, вып. 12. - С. 1407-1413
Мансуров_формирование
