Влияние термических условий получения и обработки на оптические свойства пленок In[2]O[3]
Тихий, А. А., Жихарёва, Ю. И., Жихарёв, И. В. , Николаенко, Ю. М., Жихарева, Ю. И., Корнеевец, А. С., Жихарев, И. В.
ил., табл.
// Физика и техника полупроводников .-
2018 .-
Т. 52, вып. 3. - С. 337-341 .-
Тихий_влияние
