Влияние типа и степени легирования на морфологию por-Si, полученного гальваническим травлением
Пятилова, О. В., Гаврилов, С. А., Шиляева, Ю. И., Павлов, А. А., Шаман, Ю. П., Дудин, А. А.
Влияние типа и степени легирования на морфологию por-Si, полученного гальваническим травлением, [Электронный ресурс]
ил.,табл.
Физика и техника полупроводников, 2017, Т. 51, вып. 2. - С. 182-186
Пятилова_влияние
