Формирование и свойства захороненного изолирующего слоя двуокиси кремния в двухслойных структурах ”пористый кремний-на-изоляторе“
Болотов, В. В., Пономарёва, И. В., Князев, Е. В., Пономарева, И. В., Кан, В. Е., Давлеткильдеев, Н. А., Ивлев, К. Е., Росликов, В. Е.
Формирование и свойства захороненного изолирующего слоя двуокиси кремния в двухслойных структурах ”пористый кремний-на-изоляторе“, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2017, Т. 51, вып. 1. - С. 51-55
Болотов_формирование