Синтез наночастиц карбида кремния методом лазерного пиролиза смеси моносилана и ацетилена
Ершов, И. А., Исхакова, Л. Д., Красовский, В. И., Милович, Ф. О., Расмагин, С. И., Пустовой, В. И.
Синтез наночастиц карбида кремния методом лазерного пиролиза смеси моносилана и ацетилена, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2020, Т. 54, вып. 11. - С. 1233-1237
Ершов_синтез
