| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Синтез наночастиц карбида кремния методом лазерного пиролиза смеси моносилана и ацетилена Электронный ресурс |
|
| Аннотация | Определены условия лазерно-стимулированной реакции синтеза наночастиц карбида кремния и проведена их характеризация. Реакция лазерного синтеза частиц SiC в газовой фазе наблюдалась при соотношении потоков SiH[4]/C[2]H[2] в интервале 1.6-3.2. Температура в области зоны реакции составила ~ 1400-1500°C. Получены наночастицы карбида кремния диаметром ~ 6 нм и исследован их состав. |
| Ключевые слова | наночастицы карбида кремния |
|
Физика и техника полупроводников 2020 Т. 54, вып. 11. - С. 1233-1237 |
|
| Имя макрообъекта | Ершов_синтез |
