Электронные свойства пленок силицена, подвергнутых нейтронному легированию
Галашев, А. Е., Воробьёв, А. С. , Воробьев, А. С.
Электронные свойства пленок силицена, подвергнутых нейтронному легированию, [Электронный ресурс]
ил., табл.
Физика и техника полупроводников, 2020, Т. 54, вып. 6. - С. 533-541
Галашев_электронные