Пространственное распределение плотности ионного потока в лазерно-плазменном источнике для нанесения нанопокрытий на подложки увеличенных размеров
Гончаров, В. К., Пузырев, М. В., Ступакевич, В. Ю., Шульган, Н. И.
Пространственное распределение плотности ионного потока в лазерно-плазменном источнике для нанесения нанопокрытий на подложки увеличенных размеров, В. К. Гончаров [и др.]
2021 .-
4 рис.