Поиск

Пространственное распределение плотности ионного потока в лазерно-плазменном источнике для нанесения нанопокрытий на подложки увеличенных размеров

Авторы: Гончаров, В. К. Пузырев, М. В. Ступакевич, В. Ю. Шульган, Н. И.
Подробная информация
Индекс УДК 533.9
Пространственное распределение плотности ионного потока в лазерно-плазменном источнике для нанесения нанопокрытий на подложки увеличенных размеров
В. К. Гончаров [и др.]
Дата издания оригинала 2021