Фотонно-кристаллический резонатор ближнего ИК диапазона на кремнии: численное моделирование и технология формирования
Серафимович, П. Г., Степихова, М. В., Казанский, Н. Л., Гусев, С. А., Егоров, А. В., Скороходов, Е. В., Красильник, З. Ф.
Фотонно-кристаллический резонатор ближнего ИК диапазона на кремнии: численное моделирование и технология формирования, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2016, Т. 50, вып. 8. - С. 1133-1137
Серафимович_фетонно
