Роль эффекта накопления тепла в многоимпульсных режимах лазерной фемтосекундной структуризации кремния
Гук, И. В., Шандыбина, Г. Д., Яковлев, Е. Б.
Роль эффекта накопления тепла в многоимпульсных режимах лазерной фемтосекундной структуризации кремния, [Электронный ресурс]
ил., табл.
// Физика и техника полупроводников .-
2016 .-
Т. 50, вып. 5. - С. 706-710 .-
Гук_роль