Создание карбидкремнийоксидных нанослоев на поверхности поликристаллического алмаза для использования их в качестве буферов при эпитаксии нитрида галлия
Аверичкин, П. А., Донсков, А. А., Духновский, М. П., Князев, С. Н., Козлова, Ю. П., Югова, Т. Г., Белогорохов, И. А.
Создание карбидкремнийоксидных нанослоев на поверхности поликристаллического алмаза для использования их в качестве буферов при эпитаксии нитрида галлия, [Электронный ресурс]
ил., табл.
// Физика и техника полупроводников .-
2016 .-
Т. 50, вып. 4. - С. 563-566 .-
Аверичкин_создание