Влияние приповерхностного слоя на электрохимическое осаждение металлов и полупроводников в мезопористый кремний
Чубенко, Е. Б., Редько, С. В., Шерстнев, А. И., Петрович, В. А., Котов, Д. А., Бондаренко, В. П.
Влияние приповерхностного слоя на электрохимическое осаждение металлов и полупроводников в мезопористый кремний, [Электронный ресурс]
ил., табл.
// Физика и техника полупроводников .-
2016 .-
Т. 50, вып. 3. - С. 377-381 .-
Чубенко_влияние
