Лабораторный комплекс с удаленным доступом для нанесения тонких пленок в вакууме
Колесник, Л., К. Моисеев, Ю. Панфилов, Рябов, В., Сидорова, С.
Лабораторный комплекс с удаленным доступом для нанесения тонких пленок в вакууме, [Текст]
ил
Наноиндустрия, 2017, № 6(77). - С.76-82
