Поиск

Лабораторный комплекс с удаленным доступом для нанесения тонких пленок в вакууме

Авторы: Колесник, Л. К. Моисеев Ю. Панфилов Рябов, В. Сидорова, С.
Подробная информация
Индекс УДК 621.793
Лабораторный комплекс с удаленным доступом для нанесения тонких пленок в вакууме
Текст
Наноиндустрия
2017
№ 6(77). - С.76-82