Осаждение функциональных покрытий из ацетилен-содержащей плазмы при атмосферном давлении
Плевако. Ф. В., Горбатов, С. В., Приходько Е. М., Шушков, С. В., Круль, Л. П., Бутовская, Г. В., Шахно, О. В., Гусакова, С. В., Королик, О. В., Мазаник, А. В.
Осаждение функциональных покрытий из ацетилен-содержащей плазмы при атмосферном давлении, [Текст]
ил.
Инженерно-физический журнал, 2016, Т. 89, № 2. - С. 457-462
