Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Осаждение функциональных покрытий из ацетилен-содержащей плазмы при атмосферном давлении
Поиск

Осаждение функциональных покрытий из ацетилен-содержащей плазмы при атмосферном давлении

Авторы: Плевако. Ф. В. Горбатов, С. В. Приходько Е. М. Шушков, С. В. Круль, Л. П. Бутовская, Г. В. Шахно, О. В. Гусакова, С. В. Королик, О. В. Мазаник, А. В.
Подробная информация
Индекс УДК 533.9+547.314.2+621.793
Осаждение функциональных покрытий из ацетилен-содержащей плазмы при атмосферном давлении
Текст
Другие авторы Горбатов, С. В.
Инженерно-физический журнал
2016
Т. 89, № 2. - С. 457-462